Onto Innovation Inc. se consacre à la conception, au développement, à la fabrication et à l'assistance d'outils de contrôle des processus qui effectuent une métrologie optique. La société propose des systèmes de lithographie et des logiciels analytiques de contrôle des processus. Elle propose également des solutions de gestion des processus et des rendements, ainsi que des installations d'emballage et de test d'appareils grâce à des systèmes autonomes de métrologie optique, d'inspection des macro-défauts, de lithographie d'emballage et de mesures de films minces transparents et opaques. En outre, la société propose un portefeuille de logiciels de contrôle des processus qui comprend des solutions pour des outils autonomes, des groupes d'outils et des suites pour l'ensemble de l'entreprise ou de l'usine. En outre, elle propose des logiciels de systèmes, des pièces détachées et d'autres services, ainsi que des services de licence de logiciels. Les produits de la société sont utilisés par les fabricants de semi-conducteurs et de dispositifs d'emballage avancés, de tranches de silicium, de diodes électroluminescentes, de lasers à cavité verticale, de systèmes micro-électromécaniques, de capteurs d'images CMOS, de dispositifs de puissance, de dispositifs analogiques, de filtres RF, de stockage de données et de diverses applications industrielles et scientifiques. Onto Innovation Inc. a été fondée en 1940 et son siège social se trouve à Wilmington, dans le Massachusetts.